CMOS集成电感的建模与仿真
为了验证该模型的准确性，以一组八边形电感为例，建立间距S=1．5Ixm，金属线宽W=8m，圈数T=7的电感模型，其内径尺i从50Ixm以步长l0m变化到90m，均采用顶层金属为线圈主体制作。将流片所得到的电感Js参数带回ADS中进行数据处理，得到实测数据与仿真数据对比结果如表1，偏差计算结果为：电感值的偏差到小于6％，Q值的偏差达5．7％。同时，由于MATLAB初仿代码中的所用公式为螺旋电感计算公式，没有考虑临近等高频效应，所以用代码仿真得到的数据主要适用于频率较低的范围。因此，利用MATLAB与ADS结合仿真，可制作低频的比较简单的螺旋电感。
2CadenceVPCM(Virtuoso无源器件建模)定制电感
VPCM是CadenceVirtuoso中的用于电感建模的工具，它可以根据电路设计的实际需要生成特定电感。利用衬底技术文件中提供的金属层和多晶硅层的厚度、电导率等参数，VPCM可以定制简单的螺旋电感，差分电感，多层串、并联电感。定制电感的过程如下：1)根据需要选择电感结构：形状(圆形，正方形，八边形)，结构(螺旋，差分)，端口数(对称一两个端口；差分一带中间抽头)；2)综合：根据需要制定仿真目标(工作频率，感值，最小Q值，最大允许面积，最小自谐振频率)，选择仿真方式：准静态仿真，等效电路仿真或全波电磁场仿真。同时可根据经验设置初始仿真物理尺寸。VPCM进行综合优化后，可得到很多种不同尺寸的电感结构，需要根据电路实际性能及布局要求进行选择。
VPCM定制电感给电路设计带来了很大的方便，利用衬底技术文件中提供的金属层和多晶硅层的厚度、电导率等参数，VPCM根据需要的电感值、Q值和．(自谐振频率)生成电感的同时，还可生成电感的版图结构及等效电路模型。为了验证模型的准确性，采用SMICRFCMOS工艺生成一组电感，间距S=2m，并在硅片上实现这些电感，利用所测得的s参数获得l，参数，由公式(1)和式(2)可获得电感值和品质因数。