CMOS集成电感的建模与仿真
现以金属线宽等于10m，问距等于2Ixm，内径为80p,m，圈数为3m，用顶层金属制作的单层差分电感为例，频率范围0．5—8．5GHz，结合中芯国际工艺的特点，来分析电感模型的建立过程。电感的建模基于中芯国际射频CMOSPDK平台，采用ADS、VPCM相结合来进行性能的仿真和优化。在
对每一个分立元件调整后，2一盯等效电路模型仿真结构与实测数据拟合情况如图4所示，图4(a)表征实测的电感等效电阻与2一订模型等效电阻的拟合情况；图4(b)和(c)分别表示实测的电感与2一盯模型仿真的L、Q值拟合状况。通过调整等效电路中的分立元件，使2一订电感模型与实际流片的电感电学特征值相切合，这种针对特定尺寸调整好的电感模型即为固定电感模型，可带入电路的设计仿真中进行验证。
将固定电感模型中的所有分立元件值用与电感物理尺寸及工艺参数相应的公式表示，进行优化调整，得到与实测值相逼近的物理曲线(L，Q，R)，通过调整多组固定尺寸的电感，提取表达式的拟合系数，即可得到scalable电感模型，如图5所示。
4总结
在电感建模的过程中，采用MATLAB与ADS协同仿真来建立电感模型，这种方法比较快捷，但是误差比较大，只适合于电感原始模型的建立，需进行进一步的优化才可用于电路设计中。而采用VPCM定制电感，通过加载与应用工艺相关的工艺文件，可得到与工艺切合得较好的电感模型；但是通过实际流片验证，该模型与实际工艺还是存在一定的差异，所以仍需建立一种更精准的电感模型。论文通过对FDK电感模型进行研究，得到一个具有连续性感值分布，矢叠性Q值分布的电感库，可极大地方便了电路工程师的设计。以电感集总物理模型为基础，进行2一竹电感模型的建立，包括固定尺寸电感模型建立和scalable电感模型的建立，并优化调整到与实测电感的及Q值曲线相拟合。